继英特尔抢先于2024年4月宣布完成业界首台高数值孔径极紫外（HighNAEUV）光刻机组装后，台积电竹科园区据悉将于9月底前引进其首台高数值孔径极紫外光刻机，据悉，首部抵台设备的购入价格远低于原定3.5亿欧元的单台报价。台积电之所以可以享受折扣，主要是ASML明显让步，全力协助台积电进机、调校与技术支援等，加速上线时间点，也就是此台主要目的为台积电试用。